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芯仕成(CHIMEMS)的业务范围包含两类,分别是单晶薄膜复合晶圆及相关服务。
单晶薄膜复合晶圆:以单晶硅、石英或碳化硅等材料为基底,以钽酸锂或铌酸锂单晶压电薄膜为功能层,开发了XPOI-V、XPOI-R和Bonding Wafer三种单晶薄膜复合晶圆产品。
工艺代工及解决方案:根据客户要求,提供晶圆减薄、CMP晶圆抛光和离子注入等工艺代工服务。根据单晶薄膜复合晶圆产品特性和客户个性化需求,开发晶圆产品的应用解决方案,包含谐振器仿真、滤波器电路设计、滤波器版图设计、滤波器电磁兼容设计和滤波器封装设计等。
单晶薄膜复合晶圆:
XPOI-V 300-900nm
XPOI-R 200-800nm
Bonding Wafer 5-30um
工艺代工:
晶圆减薄、CMP晶圆抛光和离子注入。
解决方案:
谐振器仿真、滤波器电路设计、滤波器版图设计、滤波器电磁兼容设计和滤波器封装设计等。
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